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化學(xué)氣相沉積采用等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積技術(shù)，能夠利用高能量等離子體促進(jìn)反應(yīng)過程，有效提升反應(yīng)速度，降低反應(yīng)溫度。適用...
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CVD化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
CVD（化學(xué)氣相沉積）氣相沉積系統(tǒng)是一種常用的薄膜制備技術(shù)，通過在高溫下將氣體反應(yīng)物質(zhì)與基底表面反應(yīng)，形成薄膜
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PECVD氣相沉積在超大規(guī)模集成電路、光電器件、MEMS等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用
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旋轉(zhuǎn)等離子增強(qiáng)CVD化學(xué)沉...
旋轉(zhuǎn)等離子增強(qiáng)CVD化學(xué)沉積系統(tǒng)十分適合在氣氛保護(hù)的環(huán)境下連續(xù)對粉末材料用CVD方法進(jìn)行包裹和修飾，旋轉(zhuǎn)等離子增強(qiáng)CVD...
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雙溫區(qū)滑道旋轉(zhuǎn)管式爐CVD...
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